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ITO靶材应用及发展前景

更新时间:2020-12-23 00:00:00      点击次数:3881

氧化铟锡(ITO)晶体结构

 

 

    氧化铟锡(ITO)是通过用锡掺杂In2O3而形成的n型半导体,晶体结构是In2O3结构,其中In2O3结构具有两种形态,一种是立方铁锰矿结构,另一种是六方刚玉结构。立方铁锰矿结构是最常见的In2O3结构,如图1所示。当将氧化锡掺杂到氧化铟中以形成氧化铟锡固溶体时,一种高度简并的n型半导体得以产生,其中一定数量的In3+位置被Sn4+取代了,导致ITO晶格中出现大量点缺陷,同时产生大量自由电子,点缺陷和自由电子可充当电场下的载流子,因此表现出了优异的导电性能。

 

 

 

 

ITO靶材特点

 

 

    ITO靶材是一种铟锡氧化物特殊功能陶瓷材料,它是金属铟经过深加工的高科技产品,主要用于生产ITO薄膜。作为n型半导体陶瓷膜,ITO薄膜具有良好的导电性;硬度高,耐磨、化学蚀刻性好;可见光透过率高;超过85%的紫外线吸收率,高于80%的红外线的反射率;并且具有微波衰减率大于85%的特性。

 

 

 

 

 

 

ITO薄膜工艺

 

 

    ITO在各种领域中的应用,均围绕其透明和导电的优异特性ITO薄膜的光学性质主要受两方面的因素影响光学禁带宽度和等离子振荡频率前者决定光谱吸收范围后者决定光谱反射范围和强度一般情况下ITO在短波区吸收率较高在长波长范围反射率较高可见光范围透射率最高100nm ITO为例400900nm波长范围平均透射率高达92.8

 

 

    ITO薄膜的性能主要由制备工艺决定,热处理常作为辅助优化的手段。为获得导电性好,透射率高以及表面形貌平整的ITO薄膜,需选择合适的沉积手段和优化工艺参数。常见的镀膜方式包括电子束蒸发和磁控溅射。

 

 

    电子束蒸发的主要原理:高真空环境下,通过电子枪发出的高能电子,在电场和磁场作用下,电子轰击ITO靶材表面使动能转化为热能,靶材升温,变成熔融状态或者直接蒸发出去,在衬底表面沉积成ITO薄膜。

 

 

 

 

    磁控溅射属于辉光放电范畴,利用阴极溅射原理进行镀膜。膜层粒子来源于辉光放电中,氩离子对阴极ITO靶材产生的阴极溅射作用。氩离子将靶材原子溅射下来后,沉积到衬底表面形成所需ITO膜层。

 

 

 

 

ITO应用

 

 

    ITO下游产业主要是平板显示产业中的导电玻璃技术,即在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上镀上一层氧化铟锡膜加工制作成的在平板显示产业中应用在触摸屏和液晶面板领域触摸屏领域应用的是TPITO导电玻璃而液晶面板领域应用的是LCDITO导电玻璃两者的主要区别在LCDITO导电玻璃还会在镀ITO层之前镀上一层二氧化硅阻挡层以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散

 

 

 

 

液晶显示器

 

 

    液晶显示器主要使用ITO导电玻璃。

 

 

    液晶显示器之所以能显示特定的图形,主要是将导电玻璃上的透明电极蚀刻制成特定形状的电极,在这些电极上加适当电压信号后,使具有偶极矩的液晶分子在电场作用下特定的方面排列,进而显示出与电极波长相对应的图形。目前液晶显示器的透明电极以ITO的透光率和导电性能最好,而且容易在酸液中蚀刻出微细图形。

 

 

触摸屏:

 

 

    无论是电阻式触摸屏还是电容式触摸屏,工作面都是基于ITO涂层。

 

 

    电阻式触摸屏,当表面被触摸时向下弯曲,并使得下面隔开的两层ITO涂层能够相互接触并在该点连通电路,电阻发生变化,在XY两个方向上产生信号,然后送触摸屏控制器。

 

 

    表面电容触摸屏只采用单层的ITO,当手指触摸屏表面时,就会有一定量的电荷转移到人体。为了恢复这些电荷损失,电荷从屏幕的四角补充进来,各方向补充的电荷量和触摸点的距离成比例,由此推算出触摸点的位置。

 

 

    有IPHONE引领的投射电容触摸屏采用多层ITO层,形成矩阵式分布,以X轴、Y轴交叉分布做为电容矩阵,当手指触碰屏幕时,可通过XY轴的扫描,检测到触碰位置电容的变化,进而计算出手指之所在。基于此种架构,投射电容可以做到多点触控操作。

 

 

 

 

    另外IIO薄膜在幕墙玻璃、太阳能电池、航空航天飞机、汽车上的防雾玻璃、微波屏蔽和防护镜、传感器等众多领域得以广泛应用。

 

 

ITO发展现状

 

 

    长期以来,ITO靶材的核心技术都被三井、东曹、日立、住友、JX、三星康宁、优美科等大企业把持他们所采用的常压烧结技术已经较为成熟

 

 

    我国是全球ITO靶材最大需求国,需求量占全球25%。作为显示面板的重要原料,尽管ITO靶材已经进入红海市场,但国产化率并不高,在2019年之前,约90%ITO靶材需要依靠进口。

 

 

    国内虽然有20多家靶材企业,但进展并不顺利,普遍没能做到批量供应。直到2017年,国产ITO靶材产品和技术水平大幅提升,逐渐追上国际领先水平,国内代表性企业有先导集团、映日科技、晶联光电、欧莱靶材

 

 

    随着OLED取代LCD成为显示技术的主流,ITO靶材市场需求或将不再高速增长,转为平稳发展趋势。

 

 

    另一方面,ITO靶材市场的价格战已经持续良久,尽管现阶段市场有涨价趋势,但国内布局ITO靶材业务的企业不在少数,市场竞争压力也将日趋激烈。

 

 

 

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