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真空炉中常见的三个真空系统

发表时间:2017-08-18      点击次数:1113

 真空炉品种多,对真空系统的要求不一样。就真空度而言,有低真空、中真空和高真空系统。下面介绍几种常用的真空系统。

1.低真空系统    

   低真空系统适用于真空度在2~1333Pa范围的真空热处理炉,如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵。

2.中真空系统 

   中真空系统适用于真空度在3 X10~~1.333Pa范围的真空热处理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用最广泛,其通常由两级真空泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵 

3.高真空系统 

   高真空系统适用于真空度在6.6×10~~1.333 X 10。Pa范围的真空热处理炉,如真空退火炉、真空钎焊炉,通常由三级真空泵机组组成,主泵通常采用油扩散泵、离子泵,初级泵大都也是采用旋转机械泵或滑阀式机械泵。

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